高真空出料泵的腐蚀类型不同，产生的损坏形式也不一样。常见、主要的腐蚀类型是湿腐蚀。
局部腐蚀
与其相反的局部腐蚀，则是指发生在金属表面各个局部的腐蚀。其根源是由于形成溶解度不同的腐蚀产物从而导致的局部不同的腐蚀负荷（温度、浓度、流速等）。
均匀腐蚀
均匀腐蚀是发生在高真空齿轮泵金属表面全部或大部分的腐蚀率相同的腐蚀。
点蚀
点蚀是一种受限于电化学、局部的、导致形成点状空穴的材料腐蚀。其根源在于存在腐蚀因素，主要是氯化物。点蚀现象在不锈钢和铝合金上尤为严重。
接触腐蚀（电偶腐蚀）是因为金属之间的腐蚀电极电位不同，形成腐蚀因素而发生的。期间，电极电位较低的金属（阳极）溶解速度加快，电极电位高的金属则成为阴极反应面。腐蚀速度由腐蚀电极电位之差和两个反应面的比率决定。当腐蚀电极电位差别很大时，如果阳极面积很小，而阴极面积很大，则是极为不利的。
缝隙腐蚀
缝隙腐蚀是发生在同类金属之间或金属和非金属之间的狭窄缝隙。因为氯化物增加或形成氧化层的氧气减少，从而产生腐蚀因素。
石墨化腐蚀
石墨化腐蚀是一种灰铸铁中因防护层不不足导致金属成分溶解的选择性腐蚀。后只剩下初形状的、充满腐蚀产物的石墨框架。
晶间腐蚀
晶间腐蚀是指晶粒边界发生的优先腐蚀。不锈钢中，由于碳向晶粒边界扩散，导致贫铬，从而引发晶间腐蚀。这种腐蚀类型会导致晶粒的迅速衰变。脱锌或脱铝
脱锌或脱铝是有色金属因为金属锌或铝的选择性腐蚀引起的。
选择性腐蚀
选择性腐蚀是一种某些晶界成分或者合金成分优先腐蚀的腐蚀类型。选择性腐蚀的形式有石墨化腐蚀、晶间腐蚀、脱锌和脱铝等。
静态腐蚀
静态腐蚀是在不流动的液体中发生的腐蚀，这种腐蚀只发生在设备停止运转期间。
微生物腐蚀
微生物腐蚀是一种受微生物影响的腐蚀，例如硫酸盐还原细菌。
摩擦腐蚀
摩擦腐蚀是指因机械摩擦导致表面层或钝化层受损从而受到腐蚀介质影响的腐蚀。
应力腐蚀
应力腐蚀是指金属在承受各种拉载荷时因具体腐蚀介质影响而出现裂纹的现象，在这个过程中，材料无明显腐蚀产物，脆性断裂。
侵蚀-腐蚀
侵蚀-腐蚀是机械表面剥蚀和腐蚀的交互作用，在这个过程中，因为防护层受到破坏而产生剥蚀，剥蚀的后果是腐蚀。
空蚀
空蚀是指空化和腐蚀的交互作用，在这个过程中，由于防护层受到局部空化破坏，从而导致并加快了腐蚀。
腐蚀疲劳
腐蚀疲劳是指金属由于机械交变载荷与腐蚀交互作用所造成的低变形、大多跨晶粒断裂的现象。
